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線性布局，自動傳片，自動完成去膠工藝。
晶圓尺寸根據(jù)用戶需求。
腔體共有三層，每層都有單獨的藥液排放 循環(huán)功能。
清洗多種金屬顆粒和有機物殘留。
藥液在循環(huán)中，根據(jù)顆粒大小配備相應(yīng)過濾系統(tǒng)。
藥液恒溫，或在線加熱供給功能。

一、適應(yīng)的藥液有以下幾種：

NMP液體--高溫高壓

DMSO液體--高溫高壓

IPA液體

DI-water

二、功能選擇：

片盒到片盒

進口機械手

CHAMBER采用耐酸堿材質(zhì)

分層藥液排放，省液，提供了生產(chǎn)率

自動供液、補液。