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噴霧式涂布機主要用于開發(fā)研究和各種半導體器件（MEMS）和微機械。對應于超厚膜涂層，它是很難通過常規(guī)的旋涂機微粒的化學溶液，以使通過的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。被涂覆的部分上，可以形成均勻的膜是困難的，在傳統(tǒng)的離心器，如在基板上的傾斜表面和梯形槽頂點。我們還支持基板貫通孔用于固定樣品的未經(jīng)使用的真空抽吸。

一、特點：                             

藥液物也可以均勻地涂布在傾斜等不平表面上的槽基板。                  

支持苯并環(huán)丁烯（BCB），各種聚合物等（需要稀釋液）。                 

對應于各種大小、形狀，還可以通過交換在樣品臺上的樣品。

比傳統(tǒng)的噴涂裝置的成本低，易于操作。
工作臺面為了便于清洗的可拆卸頂板。

二、產(chǎn)品規(guī)格：固定式和移動式噴涂機噴涂的樣本格式                      

手動上下取片

PLC控制半自動操作控制

噴霧干燥的空氣和噴霧化學泵送系統(tǒng)

工作臺平面可旋轉

噴霧噴嘴高度范圍為80?150毫米（從樣品臺表面）

范圍約400毫米的直線運動（全行程的直線運動）     

清潔干燥的空氣：5KG / C㎡（φ6mm氣動管連接口）

電源：AC220V 1800W

排風：φ100mm圓片分鐘連接管道直徑為100升/排氣

重量： 150kg以下重量
外形尺寸：1300×800×800毫米的機身（H×W×D）

三、小孔圓片chcuk固定方式