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用途：

噴霧式涂布機(jī)主要用于開發(fā)研究和各種半導(dǎo)體器件（MEMS)和微機(jī)械。對(duì)應(yīng)于超厚膜涂層，它是很難通過(guò)常規(guī)的旋涂機(jī)微粒的化學(xué)溶液，以使通過(guò)的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。

主要特點(diǎn)：

噴霧式涂布機(jī)主要用于開發(fā)研究和各種半導(dǎo)體器件（MEMS)和微機(jī)械。對(duì)應(yīng)于超厚膜涂層，

 它是很難通過(guò)常規(guī)的旋涂機(jī)微粒的化學(xué)溶液，以使通過(guò)的特殊定制的噴霧噴嘴水平薄涂層。

被涂覆的部分上，可以形成均勻的膜是困難的，在傳統(tǒng)的離心器，如在基板上的傾斜表面和

 梯形槽頂點(diǎn)。我們還支持基板貫通孔用于固定樣品的未經(jīng)使用的真空抽吸。