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勻膠機是在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，

膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度

旋轉涂覆技術所使用的設備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，

又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、

旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，

利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，

也和旋轉速度及時間有關

勻膠機技術指標：

1.主軸轉速： 　　　200～8000RPM，精度±1RPM，轉速可調。

2.主軸加速度：　 　30000RPM/S，連續可調（只對涂膠）

3.工藝工步時間：　 0～999.9秒，設定增量±0.1秒

4.電源條件：　　 　AC220V±10％，50Hz，總功率1.5KW

5.真空條件：            真空度≤-0.085Mpa，