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自動(dòng)勻膠顯影機(jī)
使用范圍：
pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領(lǐng)域PR工藝涂膠膠顯影；
產(chǎn)能：預(yù)估100wafer/H;
產(chǎn)品種類：晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物產(chǎn)品、邏輯類、存儲(chǔ)類芯片、
攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED領(lǐng)域。

· 全自勻膠顯影技術(shù)指標(biāo)：

· 1、Camber根據(jù)用戶要求可選配

· 2、主軸速度:50-6000rpm

· 3、THC&FFU等功能

· 4、EBR&BSR功能

· 5、PR數(shù)量可選配（標(biāo)配2路）