欧美性视屏 I 欧美日韩亚洲综合 I 吉泽明步磁力链接 I 亚洲精品久久久蜜桃网尤妮丝 I 人人爽爽人人 I 精品无码在线观看 I 波多野结衣色视频 I 日韩在线观看一区 I 五月天六月色 I av日韩av I 日本人极品人妖高潮 I 激情小说亚洲图片 I 午夜不卡av I 69久久久久久 I 午夜小福利 I 一级黄色大片网站 I 国产色宗合 I 禁网站在线观看免费视频 I 日本色片网站 I 91天堂在线视频 I 尤物视频入口 I 色网中文字幕 I 日韩 三级 I 精品久久久久久久无码人妻热 I 在线观看免费的av I 中文无码精品一区二区三区 I 在线成年人视频 I 在线播放91

光刻膠涂布工藝

光刻膠需要在晶圓上形成均勻厚度的一層薄膜。薄膜形成使用的是對晶圓一片一片處理的單片式設備。旋轉涂膠設備將真空用真空吸盤固定，表面向上，再滴入一定量的光刻膠，然后高速旋轉晶圓，直至薄膜厚度均勻。

根據轉速和光刻膠黏度可以調整光刻膠薄膜厚度，一般來說，轉速越高薄膜厚度越薄，光刻膠黏度越高薄膜厚度越厚。

光刻膠涂布的實際情況

由于光刻膠在空氣中放置會干燥并變成固體，因此在晶圓上涂膠前，要從噴嘴中丟棄少量光刻膠，保證一直能滴落新鮮的光刻膠。

在晶圓上均勻地涂上光刻膠膜是必要的，晶圓邊緣會出現膜稍微變厚的部分，稱為邊緣堆積。為了減少這種情況，要進行邊緣沖洗，還要設置背面沖洗功能，以防止光刻膠倒流到晶圓背面。沖洗功能如下圖：

晶圓表面一般親水性高，特別是正性光刻膠有時無法很好的涂布。此時，為了使晶圓表面具有疏水性，用一種名為HMDS（六甲基二硅氮烷）的有機溶劑進行處理。涂布光刻膠后，要進行預烘焙處理（也稱軟烘）來去除溶劑，

故進行熱處理的烘焙系統（如熱板）與旋轉涂膠機在生產線上都是按照連續化（In-Line）布置。