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（1） 二流體扇面噴頭：自動擺動旋轉噴液加背洗功能，兩路液體加流量計。

（2） 旋轉電機：轉速要求：0~5000rpm，旋涂步驟、旋涂速度、加速度可自由編輯

（3） 腔體內配置手動開啟清洗程序按鈕（帶防誤觸蓋子）

（4） 腔體外配置腳踏板開關：開關清洗單元真空的腳踏板開關，點動開啟，點動關閉

（5） 腔體外配置排廢閥和廢液桶收集清洗后的廢液（和噴涂單元廢液桶分開）。